熱式氣體質量流量計（Thermal Mass Flow Meter）因其獨特的工作原理和設計，在氣體流量測量領域具有顯著優勢，具體優點如下：

一、核心優勢

寬量程比與高靈敏度?

可測量極低流速氣體（0.02~2 m/s）至中高流速（2~60 m/s），尤其適合微小流量檢測?。

插入式設計適用于大管徑測量，且無活動部件，降低維護成本?。

無需溫壓補償?

直接測量氣體質量流量，不受溫度、壓力變化影響，簡化系統設計?。

低壓力損失?

無阻流件設計，壓損極小，適用于對壓力敏感的系統（如真空環境）?。

二、應用特性

多氣體兼容性?

適用于空氣、氮氣、氯氣、沼氣等多種氣體，部分型號支持多組分氣體測量?。

快速響應與穩定性?

數字化集成度高，響應速度快，適合動態流量控制場景?。

結構簡單與維護便捷?

無運動部件，長期穩定性好，維護成本低?。

三、對比其他流量計

特性 熱式氣體質量流量計 科里奧利質量流量計

適用介質? 僅氣體 氣體/液體

壓損? 極低 較高

成本? 較低 高

安裝復雜度? 簡單 復雜

四、典型應用場景

工業過程控制?：半導體制造、真空鍍膜中的氣體流量監測?。

環保監測?：沼氣、廢氣排放的微小流量計量?。

實驗室研究?：高精度氣體配比與流量控制?。

注：熱式流量計對清潔干燥氣體效果最佳，濕氣或含顆粒介質可能影響精度?。